冷陰極復(fù)合真空計(jì)PTR 237 N
PTR 237 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 5×10-3 毫巴的較大測(cè)量范圍,基于對(duì)冷陰極電離電流的測(cè)量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89642V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230703V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù),并可提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量結(jié)果。更多詳情,請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。(P/N: 230703V02)
這些變送器用途廣泛,可用作獨(dú)立裝置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺(tái)變送器在出廠前已逐臺(tái)進(jìn)行全量程測(cè)試。測(cè)試報(bào)告隨附在包裝中。此外,每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在指定操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。
變送器擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器,這些繼電器可用于過(guò)程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,獲取壓力讀數(shù),或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
冷陰極反磁控管采用高電壓陽(yáng)極、陰極和永磁體。電子向陽(yáng)極加速,并將通過(guò)碰撞而使分子離子化。磁場(chǎng)使電子偏轉(zhuǎn),從而使電子在穿過(guò)磁場(chǎng)前往陽(yáng)極時(shí)做螺旋形移動(dòng)。這種螺旋運(yùn)動(dòng)增大了電子遇到分子并使分子離子化的機(jī)會(huì)。
分子離子化產(chǎn)生電流,該電流是壓力的函數(shù)。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中,如:工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
· 一般真空壓力測(cè)量
· 涂料
· 質(zhì)譜儀控制
· 系統(tǒng)過(guò)程控制
· 檢測(cè)異常壓力,利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>
· 控制系統(tǒng)基礎(chǔ)壓力
測(cè)量原理: | 冷陰極離子化電流 |
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測(cè)量范圍 (N2 和空氣): | 1×10-8 至 5×10-3 毫巴 |
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精確度 (1) (N2): | 1×10-8 至 1x10-3 毫巴: | 讀數(shù)的 ±30% |
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重復(fù)性 (1) (N2): | 1x10-8 至 1x10-3 毫巴: | 讀數(shù)的 ±30% |
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電源電壓: | 9-30 伏直流 |
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功耗: | < 2 瓦 |
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熔絲 (熱可恢復(fù)): | 200 毫安 |
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模擬輸出: | 2-9.6 伏直流,Log. 1.33 伏直流/十進(jìn)制 |
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模擬輸出 1 分辨率: | 16 位 |
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模擬輸出阻抗: | 100 歐 |
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模擬輸出更新率: | 16 赫茲 |
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電壓輸出 (如果 CC 未引燃): | 0.4 伏直流 |
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機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器: |
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P/N: 15734V02, 15736V02: | 0 |
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P/N: 89642V02: | 3 |
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設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: | 1×10-8 至 5×10-3 毫巴 |
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設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載) |
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設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: | 100 毫歐 (**值) |
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設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: | <100 毫秒 |
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設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載) |
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載) |
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軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器: |
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P/N: 230703V02: | 2 |
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設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: | < 20 毫秒 |
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材料暴露于真空 (2): | 304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM |
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內(nèi)部容積: | KF25 | 28.6 厘米3 |
CF40 | 32.7 厘米3 |
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外殼材質(zhì): | 304 號(hào)不銹鋼 |
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法蘭材質(zhì): | 304 號(hào)不銹鋼 |
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重量: | P/N: 15734V02、89642V02: | 321 克 |
| P/N: 230703V02: | 600 克 |
| P/N: 230281V02: | 318 克 |
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**允許壓力: | 6 巴 |
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運(yùn)行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) |
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烘烤溫度 (電源關(guān)閉): | 85 °C (185 °F) |
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燈絲溫度: | 超過(guò)室溫 35 °C |
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異物防護(hù)等級(jí): | IP40 |
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泄漏速率: | < 5?0-9 毫巴?升/秒 |
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零件 | 產(chǎn)品號(hào) |
PTR 225 N、DN 25 KF | 15734V02 |
PTR 225 N、DN 25 KF、RS232、3SP | 89642V02 |
PTR 225 N、EtherCat、DN 25 KF | 230703V02 |
PTR 237 N、DN 40 CF | 15736V02 |
陰極替換片 PTR 90 N / PTR 225 N | EK16291V02 |
陽(yáng)極替換環(huán) PTR 90 N / PTR 225 N | 20028711V02 |
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Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
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Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
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A 型電纜,5 米 | 12426 |
A 型電纜,10 米 | 230012 |
A 型電纜,15 米 | 12427 |
A 型電纜,20 米 | 12428 |
A 型電纜,30 米 | 12429 |
A 型電纜,50 米 | 12431 |
A 型電纜,75 米 | 12432 |
A 型電纜,100 米 | 12433 |
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螺旋管 DN 25 ISO-KF | 230083 |
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定心環(huán) (1.4305 號(hào)不銹鋼),含 O 型環(huán) | 88374 |
定心環(huán) (不銹鋼),含燒結(jié)金屬過(guò)濾器 | 88352 |
卡環(huán) (鋁) | 210043 |
隔板,含定心環(huán) (FPM) | 230078 |